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真空机组有哪些分类

时间:2019-08-20 15:27   来源:www.6474666.com  作者:aadmin

  真空机组是一种真空设备,根据产品的特点分为好几种,那么,真空机组有哪些分类呢?

  低真空机组工作压力高、排气量大,多用于真空输送、真空浸渍、真空过滤、真空干燥机真空脱气等。低真空机组常用的主泵,容积式真空泵中的往复泵、水环泵、油封机械泵、螺杆真空泵、湿式罗茨泵以及喷射泵、分子筛吸附泵等这些直排大气型的真空泵都可以胜任,但根据被抽气体的清洁程度、湿度及其他条件,需配置除尘器、气水油水分离器、干燥阱等设施。

  中真空机组,适用于需要大抽速和获得中真空的各种真空系统中,如镀膜机、真空冶炼、真空热处理及医药化工、电工焊接等行业。以往中真空机组由罗茨真空泵+油封机械泵、罗茨真空+水环真空泵以及双罗茨真空泵这样的组合居多。随着螺杆真空泵这样的无油真空泵的兴起,罗茨真空泵+螺杆真空泵这样的无油真空机组也逐渐增多,适应性更广。

  高真空机组工作于分子流状态下,工作压力区间在10-2~10-6Pa,排量小、抽速大,一般情况下主泵由扩散泵、分子泵、钛升华泵以及低温冷凝泵等来承担,由于它们无法直接在大气下工作,因此必须配置前级泵、预抽泵等,特殊情况下为防止气压波动还需要配置维持泵与储气罐等。

  超高真空机组工作压力区间在10-6~10-10Pa,需要主泵的极限真空要在10-7~10-8Pa以上且在工作压力区间内保证相应的抽速,如溅射离子泵、涡轮分子泵等,而且对系统组成的材料要求能经受200~450℃高温烘烤并保证低漏气率与出气率等。

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